应用

1、在数控机床检定中的应用

中图仪器SJ6000金属平面激光干涉仪品牌可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。

2、在三坐标检测中的应用

SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。

3、在位移传感器中的应用

利用激光干涉仪对位移传感器检定为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。

4、与其他镜组配合的应用

SJ6000金属平面激光干涉仪品牌与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有高精度、效率高。

测量方法

1、进行线性测量的一般步骤 ：

 （1）安装设置激光干涉仪

 （2）将激光束与被测量的轴校准

 （3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。

 （4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。

 （5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。

2、光束快速准直步骤 ：

 （1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。

 （2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动。

垂直光束调整：

 （3）使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。

 （4）使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。

水平光束调整：

 （5）用三脚架左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。

 （6）用三脚架左边中间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光束击中光靶的中心。

 （7）沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6，直到完成整个轴向的光镜准直。

 （8）达到轴的末端时，将机床移回，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其中一道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。

 重复步骤1到8，直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。

 （9）保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时，检查线性数据采集软件中显示的信号强度。